氧化鋁陶瓷在泛半導(dǎo)體中的應(yīng)用

文章出處:http://www.taopidai.cn/industry/843.html人氣：9時(shí)間：2023-06-24

氧化鋁陶瓷因?yàn)楸旧碛兄鴺O其優(yōu)越的性能，現(xiàn)如今是一種被廣泛應(yīng)用在各個(gè)行業(yè)。因?yàn)檠趸X陶瓷有著較高的導(dǎo)熱系數(shù)且材料比較便宜，所以高純度的氧化鋁陶瓷經(jīng)常被用在泛半導(dǎo)體設(shè)備零部件中，今天鈞杰陶瓷小編就為大家分享一些被應(yīng)用在泛半導(dǎo)體設(shè)備上氧化鋁陶瓷。

由于氧化鋁陶瓷有著高耐磨、熱導(dǎo)率高、高硬度、絕緣性能好及耐腐蝕等優(yōu)秀的性能，所以經(jīng)常被應(yīng)用在如光刻機(jī)、半導(dǎo)體刻蝕設(shè)備、離子注入機(jī)、沉積設(shè)備等等，除了氧化鋁陶瓷以外，經(jīng)常被應(yīng)用在半導(dǎo)體設(shè)備中的還有氮化鋁、氮化硅、碳化硅、可加工陶瓷等。

那么有哪些常見的氧化鋁陶瓷半導(dǎo)體設(shè)備零件呢？

如氧化鋁真空吸盤，半導(dǎo)體行業(yè)的零部件對(duì)于晶圓的要求很嚴(yán)格，只有近乎完美的晶片才能避免對(duì)器件非常有害的電學(xué)和機(jī)械缺陷，因此需要對(duì)晶片進(jìn)行整型、切片、研磨、清洗等多個(gè)步驟。在這些工序里，晶片都需要一個(gè)可以安置并固定的工作臺(tái)，采用陶瓷真空吸盤，也即一種通過高溫?zé)Y(jié)在材料內(nèi)部生成大量彼此連體或閉合的均勻?qū)嵭幕蛘哒婵阵w陶瓷，來通過真空吸力將半導(dǎo)體片、玻璃基板材料等工作物固定住。

再比如常見的陶瓷機(jī)械手臂，在晶圓片的搬運(yùn)中，會(huì)應(yīng)用到氧化鋁陶瓷制成的陶瓷機(jī)械手臂，將其安裝在晶圓搬運(yùn)機(jī)器人上，相當(dāng)于機(jī)器人的手，負(fù)責(zé)搬運(yùn)晶圓片到指定位置，其表面直接與晶圓接觸。因?yàn)榫A片在極其容易受到其他顆粒的污染，所以一般在真空環(huán)境下進(jìn)行。在此環(huán)境下，大部分材料的機(jī)械手臂一般難以完成工作，制作機(jī)械手臂的材料需要耐高溫、耐磨、并且硬度也需要很高。