等離子刻蝕設備腔體用微晶玻璃的 CNC 精密加工面臨多重挑戰。微晶玻璃兼具高硬度（莫氏硬度 6.5-7）與脆性，加工時易產生崩邊、微裂紋，且需滿足內壁 Ra≤0.01μm 的粗糙度及 μm 級平面度要求，對加工精度控制極嚴苛。