半導體設備末端執行器 半導體設備末端執行器是半導體制造設備中直接與晶圓（或其他半導體元件）接觸并執行特定操作的關鍵部件，位于機械臂或運動機構的末端，其功能類似于人類的 “手”，負責完成晶圓的搬運、定位、加工輔助等任務。它的設計精度、可靠性和潔凈度直接

  半導體陶瓷手臂在半導體新芯片的整個生產過程中操縱和搬運硅晶片。它能夠處理大尺寸晶片，并且可以設計有真空通道以承載零件。一般都使用工業陶瓷材料制作而成的，常見的材料有高純度的氧化鋁陶瓷，碳化硅陶瓷，氮化硅陶瓷材料等。生產半導體陶瓷手臂最重要的一點能力就是對陶瓷材料的精

半導體設備末端執行器 半導體設備末端執行器是半導體制造設備中直接與晶圓（或其他半導體元件）接觸并執行特定操作的關鍵部件，位于機械臂或運動機構的末端，其功能類似于人類的 “手”，負責完成晶圓的搬運、定位、加工輔助等任務。它的設計精度、可靠性和潔凈度直接